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ALD前驱体源瓶（起泡器）用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、 常压、中低压的危险化学品，所以对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要 求。 ALD前驱体源瓶特点： 所有管件采用316L不锈钢，内部经400目机械抛光和电化学抛光，Ra≦0.25微米； 阀门有美国世伟洛克球阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀和韩国TK隔膜阀供选择； 密封垫片选用纯银镀镍垫片； 氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s； 可盛装化学品纯度≧99.9995; 总残余元素量≦50PPb； 坠落试验，通过国家商检部门检测； 介质，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等； 可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的交叉清扫处理等； 可提供非标定做。 时间：2019-12-19
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