前驱体材料是原子层沉积工艺的基础，目前用于原子层沉积的前驱体包括无机类和金属有机类二种，无机类在沉积速率、稳定性、膜质量等方面存在一些问题，应用会逐渐减少。金属有机类特别是液态金属有机物是开发的重点。前驱体生产过程的控制，对产品的质量稳定性提供了保证，我司产品研制过程控制如下（分别是制备、纯化、分析）：
